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納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)
納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)

納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)生產(chǎn)工藝周期短,提高生產(chǎn)效率; 修飾液用量極少,節(jié)約成本90%; 閉環(huán)的工藝過(guò)程,安全系數(shù)高。

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可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱
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可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積 晶圓基底脫水烘烤

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HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱
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HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達(dá)到65或更高。

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HMDS預(yù)處理機(jī)H-2  智能HMDS真空烘箱
HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS預(yù)處理機(jī)H-2 智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進(jìn)劑工藝設(shè)備,

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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
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掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增?qiáng)表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預(yù)處理烘箱
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HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報(bào)&警提示,HMDS低液位報(bào)&警,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)等

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HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱
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HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對(duì)晶圓表面進(jìn)行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

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